د لیتوګرافی ماشینونو نظری اجزا

آپټیکل ډیزاین د سیمیکمډکټر په ساحه کې د غوښتنلیکونو پراخه لړۍ لري. د فوتوګرافي ماشین کې، نظری سیسټم د رڼا سرچینې لخوا جذب شوي رڼا بیم تمرکز کولو مسولیت لري او د سیلیکون ویفر ته یې وړاندې کوي ترڅو د سرکټ نمونه ښکاره کړي. له همدې امله ، د فوتوګرافي سیسټم کې د نظری اجزاو ډیزاین او اصلاح کول د فوتوګرافي ماشین فعالیت ښه کولو لپاره یوه مهمه لار ده. لاندې ځینې نظري برخې دي چې د فوتوګرافي ماشینونو کې کارول کیږي:

د پروجیکشن هدف
01 د پروجیکشن هدف د لیتوګرافي ماشین کې کلیدي نظري برخه ده ، معمولا د لینزونو لړۍ څخه جوړه وي پشمول د محدب لینزونو ، مقعر لینزونو او پریزمونو.
02 د دې دنده دا ده چې په ماسک کې د سرکټ نمونه لنډه کړي او د فوتوریزیسټ سره پوښل شوي ویفر باندې تمرکز وکړي.
03 د پروجیکشن هدف دقت او فعالیت د لیتوګرافي ماشین ریزولوشن او امیج کولو کیفیت باندې پریکړه کونکی اغیزه لري

عکس
01 عکسونهد رڼا سمت بدلولو او سم ځای ته د مستقیم کولو لپاره کارول کیږي.
02 په EUV لیتوګرافي ماشینونو کې، عکسونه په ځانګړي ډول مهم دي ځکه چې د EUV رڼا په اسانۍ سره د موادو لخوا جذب کیږي، نو باید د لوړ انعکاس سره عکسونه وکارول شي.
03 د انعکاس د سطحې دقت او ثبات هم د لیتوګرافي ماشین په فعالیت باندې لوی تاثیر لري.

فلټرونه
01 فلټرونه د رڼا د ناغوښتل شوي څپې لرې کولو لپاره کارول کیږي، د فوتوګرافي پروسې دقت او کیفیت ښه کول.
02 د مناسب فلټر په غوره کولو سره، دا ډاډ ترلاسه کیدی شي چې یوازې د یو ځانګړي طول موج رڼا د لیتوګرافي ماشین ته ننوځي، په دې توګه د لیتوګرافي پروسې دقت او ثبات ته وده ورکوي.

prisms او نور اجزا
سربیره پردې ، د لیتوګرافي ماشین ممکن د لیتوګرافي ځانګړي اړتیاو پوره کولو لپاره نور مرستندویه نظری اجزا هم وکاروي ، لکه پریزمز ، پولرائزر او نور. د دې نظری برخو انتخاب، ډیزاین او تولید باید په کلکه د اړونده تخنیکي معیارونو او اړتیاو سره سم تعقیب کړي ترڅو د لیتوګرافی ماشین لوړ دقیقیت او موثریت یقیني کړي.

په لنډیز کې ، د لیتوګرافي ماشینونو په ساحه کې د نظری اجزاو پلي کول هدف د لیتوګرافي ماشینونو فعالیت او تولید موثریت ته وده ورکول دي ، پدې توګه د مایکرو الیکټرونیک تولید صنعت پرمختګ ملاتړ کوي. د لیتوګرافي ټیکنالوژۍ دوامداره پرمختګ سره ، د نظری اجزاو اصلاح او نوښت به د راتلونکي نسل چپس جوړولو لپاره لوی ظرفیت هم چمتو کړي.

د لا زیاتو بصیرت او متخصص مشورې لپاره، زموږ ویب پاڼه وګورئhttps://www.jiujonoptics.com/زموږ د محصولاتو او حلونو په اړه نور معلومات ترلاسه کولو لپاره.