د نظري ډیزاین په سیمیکمډکټر ساحه کې پراخه غوښتنلیکونه لري. په فوتولیتوګرافي ماشین کې، نظري سیسټم د رڼا سرچینې لخوا خارج شوي رڼا بیم تمرکز کولو او د سیلیکون ویفر ته د پروجیکټ کولو مسؤلیت لري ترڅو د سرکټ نمونه ښکاره کړي. له همدې امله، د فوتولیتوګرافي سیسټم کې د نظري اجزاو ډیزاین او اصلاح کول د فوتولیتوګرافي ماشین فعالیت ښه کولو لپاره یوه مهمه لاره ده. لاندې ځینې نظري برخې دي چې په فوتولیتوګرافي ماشینونو کې کارول کیږي:
د وړاندوینې هدف
01 د پروجیکشن هدف په لیتوګرافي ماشین کې یو مهم نظري جز دی، چې معمولا د لینزونو لړۍ لري چې پکې محدب لینزونه، مقعر لینزونه، او منشورونه شامل دي.
02 د دې دنده دا ده چې په ماسک کې د سرکټ نمونه لنډه کړي او په هغه ویفر باندې تمرکز وکړي چې د فوتوریزیسټ سره پوښل شوی وي.
03 د پروجیکشن هدف دقت او فعالیت د لیتوګرافي ماشین د ریزولوشن او امیجنگ کیفیت باندې پریکړه کونکی اغیزه لري.
هنداره
01 هندارهد رڼا د لوري د بدلولو او سم ځای ته د هغې د لارښوونې لپاره کارول کیږي.
02 په EUV لیتوګرافي ماشینونو کې، هنداره په ځانګړي ډول مهمه ده ځکه چې د EUV رڼا په اسانۍ سره د موادو لخوا جذب کیږي، نو باید د لوړ انعکاس لرونکي هنداره وکارول شي.
03 د انعکاس کونکي سطحې دقت او ثبات هم د لیتوګرافي ماشین په فعالیت باندې خورا لوی اغیزه لري.
فلټرونه
01 فلټرونه د رڼا د ناغوښتل شوي طول موجونو د لرې کولو لپاره کارول کیږي، د فوتولیتوګرافي پروسې دقت او کیفیت ښه کوي.
02 د مناسب فلټر په غوره کولو سره، دا ډاډ ترلاسه کیدی شي چې یوازې د یو ځانګړي طول موج رڼا د لیتوګرافي ماشین ته ننوځي، په دې توګه د لیتوګرافي پروسې دقت او ثبات ښه کوي.
پرزمونه او نور اجزا
برسېره پردې، د لیتوګرافي ماشین ممکن د لیتوګرافي ځانګړو اړتیاو پوره کولو لپاره نور مرستندویه نظري اجزا هم وکاروي، لکه پریزمونه، پولاریزرونه، او نور. د دې نظري اجزاو انتخاب، ډیزاین او تولید باید په کلکه د اړونده تخنیکي معیارونو او اړتیاو سره سم وي ترڅو د لیتوګرافي ماشین لوړ دقت او موثریت ډاډمن شي.
په لنډه توګه، د لیتوګرافي ماشینونو په برخه کې د نظري اجزاو کارول د لیتوګرافي ماشینونو فعالیت او تولید موثریت ښه کول دي، په دې توګه د مایکرو الیکترونیک تولید صنعت پراختیا ملاتړ کوي. د لیتوګرافي ټیکنالوژۍ دوامداره پرمختګ سره، د نظري اجزاو اصلاح او نوښت به د راتلونکي نسل چپسونو تولید لپاره هم لوی ظرفیت چمتو کړي.
د نورو معلوماتو او متخصصینو مشورې لپاره، زموږ ویب پاڼه وګورئhttps://www.jiujonoptics.com/زموږ د محصولاتو او حل لارو په اړه د نورو معلوماتو لپاره.
د پوسټ وخت: جنوري-۰۲-۲۰۲۵
